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氦气在在半导体中的检漏作用

所属分类：行业资讯发布时间： 2022-06-18 浏览次数：390

氦气是理想的检漏气体

首先，因为氦气的.外层的电子是2，而且氦只有一层电子，..层电子是2，这意味着达到了稳定结构，所以氦气的化学性质相对来说比较稳定，不易发生反应、爆炸等。在一些比较值钱的设备：例如飞机、宇宙飞船等都喜欢用氦气作为检漏用气。但氦气在自然界的储量少，价钱也比较昂贵，所以为了节约成本，一些企业也就选择氢和氮的混合气体作为检漏用气，或者直接用氮气作为检漏用气。

氦气在在半导体中的检漏作用

为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞，所以在元器件封装之后，就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小，容易穿过小洞而进入到管壳内部，所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞（即能够检测出漏气速率约为10?11～10?12cm3/sec的小洞），灵敏度可与放射性检漏方法匹敌，但要比放射性检漏方法简便。氦气检漏试验的方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。

高纯气体管道氦气检漏方法

1、高纯大宗气体管道氦检漏方法宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

2、内向检漏法（喷氦法）应采用在高纯气体管道内部抽真空，外部喷氦气的方法进行检漏。

3、阀座检漏法应采用阀门上游充氦气，下游抽真空的方法检漏。

4、外向检漏法（吸枪法）应采用在高纯气体管道内部充氦气或氦氮混合气，外部用吸枪检查可能泄漏点的方法检漏。

5、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1

6、高纯气体氦检漏的泄漏率应符合下列要求：

6.1、内向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s；
6.2、阀座检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s；
6.3、外向检漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

7、氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新进行气密性试验并合格，然后应按规定再时行氦检漏。

8、所有可能泄漏的点应用塑料袋隔离。

9、系统测试完毕，应充入高纯氮气或氩气，并应进行吹扫。

10、测试完毕后，应提交测试报告。