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氮氢混合气在电子器件中的应用

所属分类:行业资讯    发布时间: 2022-06-24    浏览次数:455
氮氢混合气在电子器件中的应用高纯气体广泛用于电子器件生产工艺中。按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气

用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气。在国内为获取氢气和氨气,为获得较高纯度的氢气,一般都采用电解纯水的方法制取。这种方法需用大量电能来电解水,一般达4.5~5.5kWh/Nm3H2,致使成本很高。